ayx体育全站：嘉兴熙磐微电子请求槽式半导体晶圆清洗机专利晶圆上下外表的洁净度差异缩小

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  国家知识产权局信息数据显现，嘉兴熙磐微电子科技有限公司请求一项名为“一种槽式半导体晶圆清洗机”的专利，公开号CN121398505A，请求日期为2025年12月。

  专利摘要显现，本请求公开了一种槽式半导体晶圆清洗机，触及半导体加工设备技术领域。本请求包含：机体，所述机体内结构有呈阶梯设置的高位水框和低位水框，所述；浸洗组织，包含固定连接在低位水框内的两个浸泡槽，所述浸泡槽内经过升降件可拆卸装置有承载篮，所述承载篮上设置有用于驱动晶圆滚动的拨轮件，所述机体内一侧固定装置有坐落低位水框上侧的出水槽口，所述机体上装置有进液管，所述进液管一端与出水槽口相连通且另一端与浸泡槽底部相连通。本请求经过拨轮件驱动晶圆在浸泡过程中低速滚动，合作U型喷管的定向喷淋辅佐晶圆继续滚动，可消除清洗盲区，颗粒杂质去除率进步，晶圆上下外表的洁净度差异缩小。

  天眼查资料显现，嘉兴熙磐微电子科技有限公司，成立于2020年，坐落嘉兴市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本505万人民币。经过天眼查大数据分析，嘉兴熙磐微电子科技有限公司专利信息10条。

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